特許
J-GLOBAL ID:200903037912662094

ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-202088
公開番号(公開出願番号):特開2007-015350
出願日: 2005年07月11日
公開日(公表日): 2007年01月25日
要約:
【課題】 連続成膜に適した高生産性を有する高ガスバリア性フィルムを提供すること。【解決手段】 基材フィルム上にガスバリア性積層体を有してなるガスバリア性フィルムにおいて、該ガスバリア性積層体が、珪素酸窒化物層、珪素酸化物層、珪素酸窒化物層の順に互いに隣接して配置された3層からなるユニットを少なくとも1つ有するように構成する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
基材フィルム上にガスバリア性積層体を有してなるガスバリア性フィルムにおいて、該ガスバリア性積層体が、珪素酸窒化物層、珪素酸化物層、珪素酸窒化物層の順に互いに隣接して配置された3層からなるユニットを少なくとも1つ有することを特徴とするガスバリア性フィルム。
IPC (7件):
B32B 9/00 ,  C23C 16/507 ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/04 ,  H01L 51/50 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/40
FI (7件):
B32B9/00 A ,  C23C16/507 ,  H05B33/02 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A ,  C23C16/34 ,  C23C16/40
Fターム (59件):
3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BA07 ,  3K007BB02 ,  3K007CA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA02 ,  4F100AA12B ,  4F100AA12D ,  4F100AA20B ,  4F100AA20C ,  4F100AA20D ,  4F100AA28 ,  4F100AA33 ,  4F100AK01A ,  4F100AK02A ,  4F100AK31A ,  4F100AK41 ,  4F100AK42 ,  4F100AR00E ,  4F100AT00A ,  4F100BA04 ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10D ,  4F100BA10E ,  4F100EH46 ,  4F100EH66B ,  4F100EH66C ,  4F100EH66D ,  4F100GB41 ,  4F100JA05A ,  4F100JD02 ,  4F100JD04A ,  4F100JD04B ,  4F100JD04C ,  4F100JD04D ,  4F100JG01E ,  4F100JL02 ,  4F100JN01E ,  4F100JN18B ,  4F100JN18D ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4F100YY00D ,  4K030AA06 ,  4K030AA14 ,  4K030AA18 ,  4K030BA29 ,  4K030BA38 ,  4K030BA44 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030CA17 ,  4K030FA04 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 特公昭53-12953号公報(第1頁〜第3頁)
  • 特開昭58-217344号公報(第1頁〜第4頁)
  • 透明水蒸気バリアフィルム
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-006366   出願人:住友ベークライト株式会社
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審査官引用 (8件)
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