特許
J-GLOBAL ID:200903037947158372

ガス計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 笹島 富二雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-130319
公開番号(公開出願番号):特開2009-276308
出願日: 2008年05月19日
公開日(公表日): 2009年11月26日
要約:
【課題】レーザ光を用いたガス計測装置における計測可能なガス濃度のダイナミックレンジを拡大する。【解決手段】ポンプ光を発生する第1レーザ光源14と、シグナル光を発生する第2レーザ光源15と、ポンプ光とシグナル光の差周波光を発生する差周波光発生部16と、ガス計測領域2に照射されたレーザ光を検知して受光強度に応じた出力を発生する光検知部18と、光検知部18の出力に基づいて計測対象ガスの濃度を測定するコントロールユニット11とを備え、ポンプ光、シグナル光及び差周波光の各波長を、計測対象ガスの異なる光吸収波長帯のモル吸光係数の高い光吸収波長にそれぞれ設定してガス計測領域2に照射する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ガス計測領域にレーザ光を照射して計測対象ガスの濃度を計測するガス計測装置において、 ポンプ光を発生する第1レーザ光源と、 シグナル光を発生する第2レーザ光源と、 前記ポンプ光と前記シグナル光から前記両者の差周波光を発生する差周波光発生手段と、 前記ガス計測領域に照射されたレーザ光を検知して受光強度に応じた出力を発生する光検知手段と、 該光検知手段の出力に基づいて前記計測対象ガスの濃度を測定する濃度計測手段と、 を備え、 前記ポンプ光、シグナル光及び差周波光のうち、差周波光を含む2以上のレーザ光の各波長を、前記計測対象ガスの異なる光吸収波長帯のモル吸光係数の高い光吸収波長にそれぞれ設定して前記ガス計測領域に照射する構成としたことを特徴とするガス計測装置。
IPC (2件):
G01N 21/35 ,  G01N 21/39
FI (2件):
G01N21/35 Z ,  G01N21/39
Fターム (18件):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059GG08 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK09 ,  2G059MM10
引用特許:
出願人引用 (2件)

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