ガス計測装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：谷義一 , 阿部和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-268301
公開番号（公開出願番号）：特開2007-078566
出願日： 2005年09月15日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：

【課題】簡易な構成により、複数の環境ガスを同時に計測する。【解決手段】励起光を出力する励起光レーザ11と、少なくとも2以上の複数の信号光であって、各々の信号光と励起光とが複数の環境ガスの吸収線に応じた異なる差周波光となるように、各々が異なる光周波数を有し、異なる変調周波数で変調された信号光を出力する複数の信号光レーザ12と、非線形光学結晶からなり、励起光と複数の信号光とを入射して、複数の差周波光を出力する波長変換素子13と、複数の環境ガスを透過した複数の差周波光を入射して、電気信号を出力する受光器15と、電気信号を各々の変調周波数でロックイン検波して、各々の差周波光の強度に応じた測定値を出力するロックインアンプ16とを備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被測定ガスにレーザ光を照射して環境ガスの計測を行うガス計測装置において、励起光を出力する励起光レーザと、少なくとも2以上の複数の信号光であって、各々の信号光と前記励起光とが複数の環境ガスの吸収線に応じた異なる差周波光となるように、各々が異なる光周波数を有し、異なる変調周波数で変調された信号光を出力する複数の信号光レーザと、非線形光学結晶からなり、前記励起光と前記複数の信号光とを入射して、複数の差周波光を出力する波長変換素子と、前記複数の環境ガスを透過した前記複数の差周波光を入射して、電気信号を出力する受光手段と、前記電気信号を各々の前記変調周波数でロックイン検波して、各々の差周波光の強度に応じた測定値を出力する計測手段とを備えたことを特徴とするガス計測装置。

IPC (2件)：

G01N 21/35 , G01N 21/39

FI (2件)：

G01N21/35 Z , G01N21/39

Fターム (16件)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059CC04 , 2G059CC05 , 2G059EE01 , 2G059EE11 , 2G059FF11 , 2G059GG01 , 2G059GG09 , 2G059HH01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ17 , 2G059JJ18 , 2G059JJ22 , 2G059JJ24 , 2G059KK01

引用特許：

審査官引用 (9件)

レーザ光源及びこれを用いたレーザ分光分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-116672 出願人：横河電機株式会社
多点型ガス濃度検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-157010 出願人：東京電力株式会社, 日立電線株式会社
内部の水分レベルを制御するための半導体処理装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-306348 出願人：レール・リキード-ソシエテ・アノニム・ア・ディレクトワール・エ・コンセイユ・ドゥ・スールベイランス・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

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