特許
J-GLOBAL ID：200903037947790605

ニオブ酸カリウム単結晶薄膜の製造方法、表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、及び電子機器

発明者：
樋口 天光

樋口 天光 について

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岩下 節也

岩下 節也 について

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宮澤 弘

宮澤 弘 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-085872
公開番号（公開出願番号）：特開2004-292228
出願日： 2003年03月26日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】各種単結晶基板上で表面モフォロジーに優れかつ単相の高品質なKNbO3単結晶薄膜を製造する方法と、この方法で得られた薄膜を備えることによって、k2が高く広帯域化、小型化、及び省電力化に優れる表面弾性波素子、周波数フィルタ、周波数発振器、電子回路、及び電子機器を提供すること。【解決手段】所定の酸素分圧におけるKNbO3と3K2O・Nb2O5との共晶点Eにおける温度及びモル組成比をTE、xEとするとき(xは、KxNb1-xOyで表現されるときのカリウム(K)とニオブ(Nb)とのモル比)、0.5≦x≦xEの範囲となるK、Nb、Oからなるプラズマプルームを基板11に供給する。そして、この状態における完全溶融温度をTmとし、基板11の温度TsをTE≦Ts≦Tmの範囲に保持して基板11上に堆積したKxNb1-xOyからKNbO3単結晶12を析出させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
気相法によるニオブ酸カリウム単結晶薄膜の製造方法であって、 所定の酸素分圧におけるニオブ酸カリウムと3K2O・Nb2O5との共晶点Eにおける温度及びモル組成比をTE、xEとするとき(xは、KxNb1-xOyで表現されるときのカリウム(K)とニオブ(Nb)とのモル比)、 基板上に堆積させた直後の前記xが、0.5≦x≦xEの範囲となるように気相状態の原料を前記基板に供給し、 前記酸素分圧及び前記xにおける完全溶融温度をTmとするとき、 前記基板の温度TsをTE≦Ts≦Tmの範囲に保持して、ニオブ酸カリウム単結晶を析出させる析出工程と、 固相部と液相部とが共存する前記KxNb1-xOyから液相部を蒸発させる蒸発工程とを備えていることを特徴とするニオブ酸カリウム単結晶薄膜の製造方法。
IPC (4件)：
C30B29/30 ,  C23C14/08 ,  C30B23/06 ,  H03H3/08
FI (4件)：
C30B29/30 A ,  C23C14/08 K ,  C30B23/06 ,  H03H3/08
Fターム (30件)：
4G077AA03 ,  4G077BC31 ,  4G077DA02 ,  4G077EA02 ,  4G077ED04 ,  4G077ED06 ,  4G077EF02 ,  4G077HA04 ,  4G077HA06 ,  4K029AA04 ,  4K029AA06 ,  4K029AA08 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BB09 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA02 ,  4K029DB20 ,  4K029GA01 ,  5J097AA06 ,  5J097EE08 ,  5J097FF01 ,  5J097FF02 ,  5J097HA01 ,  5J097HA03 ,  5J097HB08 ,  5J097KK09
引用特許：
審査官引用 (2件)
引用文献：
審査官引用 (3件)

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