特許

J-GLOBAL ID：200903037993477199

プラズマ耐食性に優れた石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法

発明者： 佐藤 龍弘 ,  吉田 宜正 ,  藤ノ木 朗 ,  稲木 恭一 ,  白井 智之
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-390823
公開番号（公開出願番号）：特開2002-137927
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
要約：

【要約】【課題】半導体製造に用いられるプラズマ反応用治具材料として、プラズマ耐食性、特にF系プラズマガスに対する耐食性に優れた石英ガラス及び石英ガラス治具並びにそれらの製造方法を提供する。【解決手段】金属元素を含有しプラズマ耐食性の増大した石英ガラスであり、該石英ガラス中の泡と異物の含有量が100cm3あたりの投影面積で100mm2未満であるようにした。

請求項（抜粋）：

金属元素を含有しプラズマ耐食性の増大した石英ガラスであり、該石英ガラス中の泡と異物の含有量が100cm3あたりの投影面積で100mm2未満であることを特徴とするプラズマ耐食性に優れた石英ガラス。

IPC (4件)：

C03B 20/00 ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

C03B 20/00 G ,  C03B 20/00 A ,  C03C 3/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (23件)：

4G014AH02 ,  4G062BB02 ,  4G062CC04 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062FB02 ,  4G062FB03 ,  4G062FB04 ,  4G062FC02 ,  4G062FC03 ,  4G062FC04 ,  4G062FJ02 ,  4G062FJ03 ,  4G062FJ04 ,  4G062KK02 ,  4G062MM17 ,  4G062NN34 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045EB03

引用特許：

審査官引用 (7件)

• ブラック石英ガラスおよびその製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-351164   出願人：日本石英硝子株式会社
• 透明石英ガラス板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-090632   出願人：東ソー株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201563   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭62-030632
  
• 特開昭63-089426
  
• 特開昭63-156040
  
• アルミニウム含有合成石英ガラス粉及び同ガラス成形体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-031313   出願人：三菱化学株式会社