X-Yステージ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：牧野剛博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165524
公開番号（公開出願番号）：特開2001-341046
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】【課題】 X軸方向及びY軸方向に移動テーブルを位置決めする際の速度及び精度を飛躍的に高める。【解決手段】固定基台1に対して移動テーブル2をX軸-Y軸平面内において微少変位可能に支持し、移動テーブル2に載置される部材をX軸-Y軸平面内で位置決め可能なX-Yステージ装置15において、X軸、Y軸、Z軸の各方向のうち、1又は2の方向に対してのみ柔で、その他の方向に対して剛の特性を有する弾性ヒンジを備え、各弾性ヒンジの前記柔とされた方向の弾性変形を利用して、移動テーブル2が固定基台1に対して微少変位可能に支持されるようにし、更に、X軸方向駆動用のリニアモータ7、及びY軸方向駆動用のリニアモータ3によって移動テーブル2をX軸-Y軸平面内において微少変位させるようにした。

請求項（抜粋）：

固定基台に対して移動テーブルを所定のX軸-Y軸平面内において微少変位可能に支持し、該移動テーブルに載置される部材をX軸-Y軸平面内で位置決め可能なX-Yステージ装置において、X軸、Y軸、Z軸の各方向のうち、1又は2の方向に対してのみ柔で、その他の方向に対して剛の特性を有し、X軸、Y軸、Z軸のいずれかの方向に沿って配置されることにより、自身の両端に接続された部材間の前記柔とされた方向における相対変位のみを許容し得る一種以上の複数の弾性ヒンジを備え、各弾性ヒンジの前記柔とされた方向の弾性変形を利用して、前記移動テーブルをX軸-Y軸平面内で前記固定基台に対して微少変位可能に支持すると共に、前記固定基台及び前記移動テーブルに自身の固定部及び可動部がそれぞれ配置され、前記移動テーブルを固定基台に対してX軸方向に相対移動させることが可能なX軸方向駆動用のリニアモータと、前記固定基台及び前記移動テーブルに自身の固定部及び可動部がそれぞれ配置され、前記移動テーブルを固定基台に対してY軸方向に相対移動させることが可能なY軸方向駆動用のリニアモータとにより、固定基台に対して移動テーブルを前記X軸-Y軸平面内において微少変位させることを特徴とするX-Yステージ装置。

IPC (2件)：

B23Q 5/28 , B23Q 5/22 520

FI (2件)：

B23Q 5/28 B , B23Q 5/22 520 C

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭63-217290
特開昭63-217290
特開平1-246032

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