特許
J-GLOBAL ID：200903038084793780
圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-170681
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168411
出願日： 2000年06月07日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 アクチュエータの駆動電圧を低くし、長期的信頼性を確保しつつ、製作工程での収率を高め、リ-ドタイムを短縮できる方法及びその方法によって製造された圧電/電歪アクチュエータを提供する。【解決手段】 電圧が印加されると、アクチュエーティングする圧電/電歪膜を形成する段階と、前記圧電/電歪膜の下部に下部電極を形成する段階と、前記下部電極の下部でメッキによって、圧電/電歪膜のアクチュエーティングを媒介する振動板を形成する段階と、前記振動板の下部でメッキによってチャンバ板を形成する段階と、前記チャンバ板をパターニングしてエッチングすることで、インクを貯蔵するチャンバを形成する段階と、前記圧電/電歪膜をパターニングしてエッチングする段階と、前記圧電/電歪膜の上部に特定パターンの上部電極を形成する段階とを含む。
請求項（抜粋）：
電圧が印加されると、アクチュエーティングする圧電/電歪膜を形成する段階と、前記圧電/電歪膜の下部に下部電極を形成する段階と、前記下部電極の下部でメッキによって、圧電/電歪膜のアクチュエーティングを媒介する振動板を形成する段階と、前記振動板の下部でメッキによってチャンバ板を形成する段階と、前記チャンバ板をパターニングしてエッチングすることで、インクを貯蔵するチャンバを形成する段階と、前記圧電/電歪膜をパターニングしてエッチングする段階と、前記圧電/電歪膜の上部に特定パターンの上部電極を形成する段階とを含む圧電/電歪アクチュエータの製造方法。
IPC (6件)：
H01L 41/22
, B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
, H01L 41/08
H01L 41/22 Z
, B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
, H01L 41/08 J
, H01L 41/08 H
2C057AF93
, 2C057AP11
, 2C057AP14
, 2C057AP31
, 2C057AP55
