特許

J-GLOBAL ID：200903094618066070

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者： 秋山 喜一 ,  藤沢 悦子 ,  木幡 八洲太郎 ,  山中 邦裕
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-014258
公開番号（公開出願番号）：特開平11-207957
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 インクジェットヘッドをシリコン基体を用いて集積化し、スクリーン印刷の解像限界を克服する。併せて、良好な特性の圧電層を作製する材料・方法を提供すること。【解決手段】 インクジェットヘッドのSi基板上に中間層、第1の電極層、電気-機械変換材料層(圧電層)をその順に積層しかつ、その上に各層間の絶縁を図るための層間絶縁層を施し、前記層間絶縁層のコンタクト孔を介して第2の電極を前記圧電層に積層する。また、前記圧電層の材料及び作製方法を適切なものとする。

請求項（抜粋）：

液滴を噴射するノズルと、供給タンクから前記ノズルまで液体を導く流路と、各流路に設けられ電気信号が与えられるとそれに応じて流路に設けた液室の容積を変化させる電気-機械変換素子部とを備えた、前記電気信号に応じて前記ノズルから液滴を噴射させるインクジェットヘッドにおいて、前記電気-機械変換素子部の電気-機械変換素子は第1の電極層、該第1の電極層上に積層された電気-機械変換材料層及び該電気-機械変換材料層に積層された第2の電極から成り、該第2の電極が層間絶縁層のコンタクト孔を介して前記電気-機械変換材料層に接続され積層されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (4件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• インクジェットヘッド及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-027193   出願人：株式会社リコー
• インクジェットヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-003005   出願人：富士通株式会社
• 誘電体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-152371   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 薄膜圧電体素子およびそれを用いたインクジェット記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-169750   出願人：セイコーエプソン株式会社