放射線検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076096
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280945
出願日： 1994年04月14日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】2次元的に配置した放射線検出素子とこの放射線検出素子からの電気信号を処理する回路とを容易に構成することができ、2次元的な放射線の検出する。また、シンチレータと組み合わされた自己走査機能を持つイメージセンサのダイナミックレンジを拡大する。【構成】1つのシリコンウエハをマトリックス状に複数の領域に区画し、この区画された各領域毎に、1つの検出素子として、フォトダイオード、オペアンプからなる積分器、サンプルホールド回路、アドレススイッチをマウントし、この各領域をそれぞれシンチレータで覆うもの。

請求項（抜粋）：

入射された放射線のエネルギーを光エネルギーに変換するシンチレータとこのシンチレータからの光エネルギーを電気エネルギーに変換する複数個の光電気変換素子とからなる放射線検出器において、前記各光電気変換素子毎に、光電気変換素子から出力される電気エネルギーを積分するオペアンプを設け、前記光電気変換素子及び前記オペアンプの全てを同一のシリコンウエハ上に構成したことを特徴とする放射線検出器。

IPC (4件)：

G01T 1/20 , A61B 6/03 320 , G01T 1/208 , H01L 27/14

引用特許：

出願人引用 (8件)

放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224307 出願人：浜松ホトニクス株式会社
画像検出器及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184056 出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
特開昭63-198890

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審査官引用 (4件)

放射線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224307 出願人：浜松ホトニクス株式会社
画像検出器及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-184056 出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン
特開昭63-198890

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