形状計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：奥田誠 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-192166
公開番号（公開出願番号）：特開平11-148810
出願日： 1998年07月07日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高さの高い被測定物でも計測可能でありながら高分解能の形状計測装置を提供すること。【解決手段】形状計測装置100は、スリット状レーザ光線を発生する光源1と、これを走査し被測定物Mに照射するポリゴンミラー5を有する。さらに、1フレーム分の撮像期間内に照射される光線の積算照射強度分布を所定コードに従うストライプ状および正弦波状パターンとする空間コード型光線制御手段11と位相シフト型光線制御手段14とを有し、この光線による被測定物Mの光学像を撮像するCCDカメラ21を有する。また、撮像した画像情報から、空間コード化法により粗形状を算出する空間コード型形状演算手段40、位相シフト法により細部形状を算出する位相シフト型形状演算手段50、および、これらのデータを合成し被測定物Mの形状を算出する形状合成演算手段60を有する。

請求項（抜粋）：

1フィールドまたは1フレーム分の撮像期間内に照射される光線の積算照射強度分布が、所定コードに従うストライプ状パターンの光線、および、正弦波状パターンの光線を、順次、被測定物に照射する光線照射手段と、上記光線により上記被測定物の表面に生じる光学像を積分型撮像部材によって撮像する撮像手段と、該撮像手段から出力される複数フィールドまたは複数フレームの画像情報を演算処理することにより上記被測定物の形状を算出する画像情報演算手段と、を有し、該画像情報演算手段は、上記被測定物に上記所定コードに従ったストライプ状パターンの光線を照射して得られた空間コード化画像情報と、上記被測定物に上記正弦波状パターンの光線を照射して得られた位相シフト化画像情報とから、被測定物の形状を算出する形状計測装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

物体の三次元形状計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-192452 出願人：富士ファコム制御株式会社, 富士電機株式会社
形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-247091 出願人：シーケーディ株式会社, 佐藤幸男
特開平4-278406

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