特許
J-GLOBAL ID:200903038261454834
輸送容器及びその蓋体の開閉方法並びにその蓋体の開閉装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
神田 正義 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-333005
公開番号(公開出願番号):特開2000-159288
出願日: 1998年11月24日
公開日(公表日): 2000年06月13日
要約:
【要約】【課題】 密封性、安全性、及び耐久性を確保し、自動化に適する輸送容器及びその蓋体の開閉方法並びにその蓋体の開閉装置を提供する。【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハW収納用の容器本体1と、容器本体1の開口正面にシールガスケット15を介し着脱自在に嵌合する蓋体9と、容器本体1の開口正面に嵌合した蓋体9を固定する係止機構17とを備え、係止機構17を、容器本体1の開口正面の外周両側部にそれぞれ突出成形される一対の突起18と、蓋体9の両側部にそれぞれ揺動可能に軸支されて各突起18を挟持する一対のクランプ板19とから構成する。各突起18の裏面には断面半円形の被挟持溝を凹み成形する。また、各クランプ板19の一端部に蓋体9用の取付軸21を、自由他端部の大部分には断面Y字形を呈した自動操作用の被操作部23をそれぞれ成形する。そして、各クランプ板19に、突起18に嵌合するU字形の溝孔を穿孔成形して被挟持溝に嵌挿する挟持片25をクランプ板19の厚さ方向に屈曲可能に区画形成する。
請求項(抜粋):
精密基板収納用の容器本体と、この容器本体の開口一端面にシールガスケットを介し着脱自在に嵌合する蓋体と、該容器本体の開口一端面に嵌合した蓋体を固定する係止機構とを含んでなる輸送容器であって、該係止機構は、上記容器本体の開口一端面の外周両側部にそれぞれ形成される一対の突起と、上記蓋体の両側部にそれぞれ揺動可能に取り付けられて各突起を挟む一対のクランプ板とを含み、該各突起の裏面に被挟持溝を形成し、各クランプ板の一端部に上記蓋体用の取付軸を、他端部には自動操作用の被操作部をそれぞれ形成し、該各クランプ板に、突起に嵌まるほぼU字形の溝孔を設けて上記被挟持溝に嵌まる挟持片を当該クランプ板の厚さ方向に屈曲可能に区画形成したことを特徴とする輸送容器。
IPC (4件):
B65D 85/86
, B65D 85/00
, B65G 49/07
, H01L 21/68
FI (4件):
B65D 85/38 R
, B65D 85/00 H
, B65G 49/07
, H01L 21/68
Fターム (33件):
3E068AA40
, 3E068AB04
, 3E068AC05
, 3E068BB11
, 3E068CC02
, 3E068CD02
, 3E068DD25
, 3E068DE13
, 3E068DE18
, 3E068EE22
, 3E068EE36
, 3E096AA06
, 3E096BA16
, 3E096CA01
, 3E096DA05
, 3E096DA17
, 3E096DA23
, 3E096DA30
, 3E096DB02
, 3E096DC04
, 3E096EA02Y
, 3E096FA03
, 3E096FA10
, 3E096FA22
, 3E096FA31
, 3E096GA20
, 5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA08
, 5F031DA09
, 5F031EA02
, 5F031EA12
, 5F031EA14
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
-
密封容器のクランプ構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-289157
出願人:信越ポリマー株式会社, 信越半導体株式会社
-
被処理基板の移載装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-142274
出願人:東京エレクトロン株式会社
-
ウエーハ収納容器の係止構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-245254
出願人:信越半導体株式会社, 信越ポリマー株式会社
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