特許
J-GLOBAL ID：200903038353480777
光学素子位置決めシステム、投影光学系及び露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤元 亮輔
, 水本 敦也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-186924
公開番号（公開出願番号）：特開2009-026862
出願日： 2007年07月18日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：
【課題】光学素子の6軸方向移動量の計測と、位置決めとを高精度に行う。【解決手段】光学素子位置決めシステムは、光学素子1、保持機構2、バックプレート3、位置調整機構4を有する。また、ベースプレート5に設けられ、光学素子1の第1の方向での変位量を計測する第1の変位センサ6_Z1,6_Z2,6_Z3と、ベースプレートに設けられ、光学素子の2方向での変位量を計測する3つの第2の変位センサ6_X1,6_Y1,6_Y2とを有する。第1及び第2の変位センサの計測情報を、直交座標系の6軸方向への光学素子の移動量に変換する変換処理部21と、該6軸方向への光学素子の移動量と該光学素子の該6軸方向への目標移動量との差分に基づいて、位置調整機構への指令値を演算する制御部23,24とを有する。変換処理部からの該6軸方向への光学素子の移動量を校正して制御部に入力する校正処理部22を有する。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
光学素子と、
該光学素子を保持する保持機構と、
前記保持機構を介して前記光学素子を支持するバックプレートと、
前記光学素子を6軸方向において位置決め可能な位置調整機構と、
前記位置調整機構を介して前記バックプレートを支持するベースプレートと、
前記ベースプレートに設けられ、前記光学素子における互いに異なる3点の第1の方向での変位量を計測する3つの第1の変位センサと、
前記ベースプレートに設けられ、前記光学素子における互いに異なる3点の、前記第1の方向とは異なり、かつ互いに異なる2方向での変位量を計測する3つの第2の変位センサと、
前記6つの第1及び第2の変位センサの計測情報を、直交座標系の6軸方向への前記光学素子の移動量に変換する変換処理部と、
前記6軸方向への前記光学素子の移動量と該光学素子の前記6軸方向への目標移動量との差分に基づいて、前記位置調整機構への指令値を演算する制御部とを有し、
前記変換処理部からの前記6軸方向への前記光学素子の移動量を校正して前記制御部に入力する校正処理部を有することを特徴とする光学素子位置決めシステム。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 17/00
H01L21/30 531A
, H01L21/30 515D
, G03F7/20 521
, G02B17/00 A
2H087TA02
, 5F046BA05
, 5F046CB02
, 5F046GA04
, 5F046GB01
