計測装置、駆動ユニット及びその製造方法、光学ユニット、光学装置並びに露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-064687
公開番号（公開出願番号）：特開2006-250587
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：

【課題】インナーリングとアウターリングの位置関係を高精度に計測する。【解決手段】調整工程(ステップ210)において調整された第1、第2センサヘッドと第1、第2スケール部とを固定工程(ステップ212)において固定し、該固定した状態で、各センサのスケール部をインナーリングに接続し、各センサヘッドをアウターリングに接続する(ステップ214)。そして、解除工程(ステップ216)において、スケール部とセンサヘッドとの固定を解除する。従って、取り付け後に各センサの計測軸間の位置姿勢関係の調整が不要となる。また、取り付け前に計測軸間の位置姿勢関係の調整が行われるので、その位置姿勢関係の高精度な調整、設定が可能である。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

第1物体と第2物体との第1軸方向と第2軸方向を含む異なる複数の方向の相対位置情報を計測する計測装置であって、前記第1、第2物体のうちの一方に接続される検出対象物と、前記第1、第2物体のうちの他方に接続され、前記検出対象物の位置に応じた信号を位置情報として出力するセンサヘッドとをそれぞれ含む第1、第2のセンサを備え、前記第1、第2のセンサのそれぞれの計測軸が前記第1軸方向及び前記第2軸方向に予め調整されていることを特徴とする計測装置。

IPC (6件)：

G01B 21/00 , G01B 21/22 , G02B 7/00 , G02B 7/02 , G03F 7/20 , H01L 21/027

FI (8件)：

G01B21/00 E , G01B21/22 , G02B7/00 A , G02B7/02 Z , G03F7/20 521 , H01L21/30 516A , H01L21/30 517 , H01L21/30 531A

Fターム (38件)：

2F069AA03 , 2F069AA04 , 2F069AA71 , 2F069AA93 , 2F069BB15 , 2F069CC06 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069HH14 , 2F069MM04 , 2F069MM26 , 2H043AA04 , 2H043AA09 , 2H043AA21 , 2H043AA23 , 2H043AB02 , 2H043AB09 , 2H043AB10 , 2H043AD04 , 2H043AD11 , 2H043AD21 , 2H043AD23 , 2H043AE02 , 2H043AE09 , 2H044AJ01 , 2H044AJ06 , 2H044AJ07 , 5F046BA05 , 5F046CB02 , 5F046CB20 , 5F046CB26 , 5F046DA11 , 5F046DB04 , 5F046DC02 , 5F046DC08 , 5F046GA03 , 5F046GA14 , 5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-291101
変位センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-325095 出願人：キヤノン株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-261978 出願人：キヤノン株式会社

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