カラーフィルタの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116984
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331814
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】顔料分散液を塗布し、所望の色膜を形成した後、露光・現像して所定のパターンに加工してカラーフィルタを製造する方法において、パターンが既に形成されているガラス基板上に、塗布むらや塗布筋のない、均一な塗膜を形成するためのカラーフィルタの製造方法を提供する。【構成】 1)(A)感光性樹脂組成物、(B)顔料および(C)有機溶剤を含有する溶液を透明基板上に塗布・乾燥して塗膜を形成する工程、2)マスクパターンを通して該塗布層に露光する工程、3)該露光済みの塗布層を現像して該透明基板上にカラーパターンを形成する工程、を含む工程を繰り返して同一基板上に複数のカラーパターンを形成する方法において、第2色目以降の塗布溶液に使用される有機溶剤(C)の少なくとも1種が3-アルコキシプロピオン酸アルキルエステルであることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

1)(A)感光性樹脂組成物、(B)顔料および(C)有機溶剤を含有する溶液を透明基板上に塗布・乾燥して塗膜を形成する工程、2)マスクパターンを通して該塗布層に露光する工程、3)該露光済みの塗布層を現像して該透明基板上にカラーパターンを形成する工程、を含む工程を繰り返して同一基板上に複数のカラーパターンを形成する方法において、第2色目以降の塗布溶液に使用される有機溶剤(C)の少なくとも1種が3-アルコキシプロピオン酸アルキルエステルであることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-339077 出願人：三菱化成株式会社
フオトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-170199 出願人：三菱化成株式会社

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