特許
J-GLOBAL ID：200903038419724443
特性解析方法および装置、異常設備推定方法および装置、上記特性解析方法または異常設備推定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山崎 宏
, 前田 厚司
, 仲倉 幸典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-255985
公開番号（公開出願番号）：特開2008-078392
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】特性値が測定された複数の基板を、製造工程に関する知識を必要とせず、特性分布の揺らぎが或る程度存在しても、特性分布が類似したグループに精度良く分類できる特性解析方法を提供すること。【解決手段】分類対象の基板群についての複数の特性値を、性質が類似した類似特性値グループに分類する(S103)。基板群に含まれた各基板について類似特性値グループ毎にその類似特性値グループに含まれた特性値を集計して、各基板についての類似特性値グループ毎の特性分布の特徴を求める(S104)。各基板についての類似特性値グループ毎の特性分布の特徴に基づいて、各基板を、基板上の特性分布が類似した類似基板グループに分類する(S105)。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
特性値が測定された基板群を基板毎に特性分布が類似したグループに分類する特性解析方法であって、
上記基板群についての複数の特性値を、性質が類似した類似特性値グループに分類し、
上記基板群に含まれた各基板について上記類似特性値グループ毎にその類似特性値グループに含まれた特性値を集計して、上記各基板についての上記類似特性値グループ毎の特性分布の特徴を求め、
上記各基板についての上記類似特性値グループ毎の特性分布の特徴に基づいて、上記各基板を、基板上の特性分布が類似した類似基板グループに分類することを特徴とする特性解析方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/66 Z
, H01L21/02 Z
, H01L21/66 J
4M106AA01
, 4M106CA39
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 4M106DJ23
