加速度検出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-076774
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280832
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】エアダンピング構造の加速度検出装置を採用した際のエアギャップ精度を高くする。【構成】シリコン基板2のカンチレバー3に加速度が印加された時にカンチレバー3が変位し、この変位を検出して加速度が検出される。ここで、カンチレバー3の上下にギャップ調整用部材6a、6bが設置され、カンチレバー3との間にエアギャップ4a、4bが形成される。このエアギャップ4a、4bは、ギャップ調整用部材6a、6bを、マイクロビーズ入りの接着剤7a、7bにてシリコン基板2に接合することにより形成される。マイクロビーズの1つの高さでエアギャップ4a、4bの大きさが高精度に調整される。

請求項（抜粋）：

加速度を受けて変位する加速度感知部を有する基板と、該加速度感知部の変位に対してダンピング作用をなすダンピング部を有し、前記加速度感知部の変位により加速度を検出するようにした加速度検出装置において、前記ダンピング部を、前記加速度感知部に対してエアギャップを形成するギャップ形成部材にて構成し、該ギャップ形成部材を、ギャップ調整用接合剤を介して前記基板に接合し、該ギャップ調整用接合剤にて前記エアギャップの大きさを調整するようにしたことを特徴とする加速度検出装置。

IPC (2件)：

G01P 15/12 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (8件)

半導体加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-183493 出願人：株式会社フジクラ
静電容量式センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-085435 出願人：日産自動車株式会社
特開平4-274005

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