特許
J-GLOBAL ID：200903038438933380

研磨ブラシ、研磨部材、研磨方法、研磨装置及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、並びに磁気ディスクの製造方法

発明者：
鹿島 隆一

鹿島 隆一 について

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植田 政明

植田 政明 について

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重田 文彦

重田 文彦 について


出願人/特許権者：
HOYA株式会社

HOYA株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-253904
公開番号（公開出願番号）：特開2007-118174
出願日： 2006年09月20日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】小径化が急務となっている磁気ディスク用ガラス基板の内周側端面の表面状態を低コストで効率良く高品質に仕上げる研磨ブラシ、研磨方法等を提供する。【解決手段】中心部に円孔を有する円板状のガラス基板の内周側端面部分に研磨液を供給しつつ、前記ガラス基板の内周側端面に研磨ブラシを接触回転させて研磨する研磨方法に用いる研磨ブラシである。該研磨ブラシ20は、その軸心21に対して毛材22が略直交する方向に突設されてなり、2つの外径D1,D2の異なる部分が軸方向にわたって交互に配列されるとともに、その小径D2となされた部分が大径D1となされた部分よりも毛材の硬度を大きくする。そのため、研磨ブラシ20における小径D2となされた部分の毛材を樹脂で固める。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
中心部に円孔を有する円板状のガラス基板の内周側端面部分に研磨液を供給しつつ、前記ガラス基板の内周側端面に研磨ブラシを接触回転させて研磨する研磨方法に用いる研磨ブラシであって、 前記研磨ブラシは、その軸心に対して毛材が略直交する方向に突設されてなり、2つの外径の異なる部分が配列されるとともに、その小径となされた部分が大径となされた部分よりも毛材の硬度を大きくしたことを特徴とする研磨ブラシ。
IPC (8件)：
B24D 7/18 ,  B24D 3/00 ,  B24D 3/28 ,  B24B 5/06 ,  B24B 5/313 ,  B24B 29/00 ,  B24B 9/08 ,  G11B 5/84
FI (9件)：
B24D7/18 Z ,  B24D3/00 310C ,  B24D3/28 ,  B24D3/00 350 ,  B24B5/06 ,  B24B5/313 Z ,  B24B29/00 D ,  B24B9/08 C ,  G11B5/84 A
Fターム (30件)：
3C043AB07 ,  3C043AB09 ,  3C043CC06 ,  3C043CC13 ,  3C049AA06 ,  3C049AA09 ,  3C049AB01 ,  3C049AB04 ,  3C049AB08 ,  3C049CA01 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  3C058AA06 ,  3C058AA09 ,  3C058AB08 ,  3C058AB09 ,  3C058CA06 ,  3C063AA07 ,  3C063AB09 ,  3C063BA24 ,  3C063BC03 ,  3C063BG19 ,  3C063EE01 ,  3C063EE10 ,  3C063EE21 ,  5D112AA02 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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