特許
J-GLOBAL ID：200903038451226145

ヒータユニット

発明者：
二口谷 淳

二口谷 淳 について

, 
立川 俊洋

立川 俊洋 について


出願人/特許権者：
日本発条株式会社

日本発条株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-188641
公開番号（公開出願番号）：特開2008-016396
出願日： 2006年07月07日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】本発明は、被加熱体を加熱した際に当該被加熱体の温度均一性を向上できるヒータユニットを得ることを目的とする。【解決手段】シャフト22の径方向内側部分である第2熱伝導体32は、シャフト22の径方向外側部分である第1熱伝導体30よりも熱伝導率が低い。このため、抵抗発熱体18の発熱状態と非加熱状態とが繰り返し切り替えられた場合に、第2熱伝導体32では、第1熱伝導体30と比べて、シャフト22の先端部22Bから基端部22A側への熱の移動が抑制される。このため、ヒータプレート16のうちシャフト22の空洞42と対峙する部分では、ヒータプレート16、ひいてはウエハ28の加熱温度が所望の温度に達するまでの時間が従来のヒータユニットに比べて短縮される。従って、ヒータプレート16で加熱されるウエハ28の温度均一性を向上できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
発熱状態と非発熱状態とが切替可能とされた発熱体を有し、前記発熱体が発熱状態とされることで被加熱体を加熱するヒータプレートと、 略円筒状とされ、径方向外側部分が第1熱伝導体で形成されると共に径方向内側部分が前記第1熱伝導体よりも熱伝導率が低い第2熱伝導体で形成され、一端部が前記ヒータプレートに係合されて前記ヒータプレートを支持するシャフトと、 を備えたヒータユニット。
IPC (2件)：
H05B 3/06 ,  H05B 3/68
FI (2件)：
H05B3/06 B ,  H05B3/68
Fターム (15件)：
3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092RF03 ,  3K092RF09 ,  3K092RF22 ,  3K092TT06 ,  3K092TT16 ,  3K092TT19 ,  3K092VV16 ,  3K092VV22 ,  5F045AA03 ,  5F045AA08 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EM09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • ヒータユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-024233   出願人：日本発条株式会社
審査官引用 (4件)
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