精密表面処理のための研磨材およびその製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-514941
公開番号（公開出願番号）：特表平9-505529
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】表面の精密処理に有用である研磨材が提供される。この材料は担体に化学的および/または物理的結合により接合された研磨層の形態であることができ、担体は好ましくは可撓性材料、例えば、プラスチックから作られる。また、研磨材は担体を含まない遊離した研磨物質の形態であることができる。研磨材は、少なくとも80原子%の超分散複合体の超硬タイヤモンド様物質から成り、好ましくは炭素を含有し、そして0.1原子%以下の結合した水素および酸素を含む、真空凝縮物の形態であることができる。研磨材は好ましくは加速された電気浸蝕プラズマのパルス流から得られる。

請求項（抜粋）：

表面に粒子が存在しない(deviod)支持体、及び前記支持体に適用された超硬コーティングを含んでなり、前記コーティングは約25eVを超えるプラズマ(plasmon)エネルギーを有するダイヤモンド様炭素物質を含む研磨材。

IPC (7件)：

B24D 3/00 320 , B24D 3/00 330 , C01B 31/06 , C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , C23C 14/24 , C30B 29/04

FI (7件)：

B24D 3/00 320 B , B24D 3/00 330 D , C01B 31/06 Z , C09K 3/14 550 F , C09K 3/14 550 E , C23C 14/24 F , C30B 29/04 X

引用特許：

審査官引用 (8件)

少なくとも部分的に非晶質なガラス金属フィルムである物体およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-338886 出願人：ゲブリユーダーズルツアーアクチエンゲゼルシヤフト
特開平3-003778
ダイヤモンド薄膜形成法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-328239 出願人：昭和電工株式会社, オグラ宝石精機工業株式会社

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