ナノインプリント用光硬化性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-078020
公開番号（公開出願番号）：特開2008-238417
出願日： 2007年03月24日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】硬化収縮を抑制することができ、耐候性に優れ、重合開始剤への溶解性に優れ、しかも膜厚が薄い場合も微細なパターンを精度よく高い生産性で形成することができるナノインプリント用樹脂組成物及びその硬化物を提供する。【解決手段】硬化膨張性を有するカチオン重合性化合物と感放射性カチオン重合開始剤とを含むナノインプリント用光硬化性樹脂組成物であって、感放射性カチオン重合開始剤は、アニオン部位が、SbF6-又は下記式(1)(式中、x1〜x4は0〜5の整数を示す。但し、x1〜x4の合計値が1以上である)で表されるボレート類である感放射性カチオン重合開始剤。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

硬化膨張性を有するカチオン重合性化合物と感放射性カチオン重合開始剤とを含むナノインプリント用光硬化性樹脂組成物であって、感放射性カチオン重合開始剤は、アニオン部位が、SbF6-又は下記式(1)

IPC (5件)：

B29C 59/02 , C08G 64/30 , C08G 59/68 , G02B 5/18 , H01L 21/027

FI (5件)：

B29C59/02 Z , C08G64/30 , C08G59/68 , G02B5/18 , H01L21/30 502D

Fターム (35件)：

2H049AA14 , 2H049AA37 , 2H049AA40 , 2H249AA14 , 2H249AA37 , 2H249AA40 , 4F209AA44 , 4F209AG03 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AH75 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 4J029AA09 , 4J029HC06 , 4J029JB041 , 4J029JB061 , 4J029JC341 , 4J029KD12 , 4J036AJ09 , 4J036FA03 , 4J036FA04 , 4J036FA05 , 4J036FA10 , 4J036GA03 , 4J036GA22 , 4J036GA24 , 4J036HA02 , 4J036JA07 , 4J036KA02 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (6件)

特公昭52-14278号公報
相似被覆用塗料組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-324643 出願人：ユニオン・カーバイド・ケミカルズ・アンド・プラスティックス・テクノロジー・コーポレイション
特開昭53-32831号公報

全件表示

前のページに戻る