特許

J-GLOBAL ID：200903092430470040

感光性樹脂及び感光性樹脂組成物

発明者： 宇都宮 伸 ,  高野 和浩 ,  坂井 信支 ,  栃澤 哲明
出願人/特許権者： 東洋合成工業株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-362301
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181062
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 広い適応性を持ち、保存安定性に優れ、かつ高感度、高解像度の感光性樹脂を容易に提供する。【解決手段】 下記一般式(1)に示される構成単位を含有する、ポリ酢酸ビニル鹸化物を主骨格として光重合型感光性樹脂とし、また、これを用いて感光性樹樹脂組成物を調製する。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(1)に示される構成単位を含有するポリ酢酸ビニル鹸化物を主骨格とすることを特徴とする感光性樹脂。【化1】

IPC (3件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/027 502 ,  C08F 18/08

FI (3件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/027 502 ,  C08F 18/08

Fターム (23件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB06 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC56 ,  2H025BC83 ,  2H025BJ10 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA35 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J100AG04P ,  4J100BC59H ,  4J100HA09 ,  4J100HA62 ,  4J100HC01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-222442
  
• 特開昭60-222442
  
• 反射防止膜材料組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-023884   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポリ酢酸ビニルケン化物系感光性樹脂及び感光性樹脂組成物並びにそれを用いたパタ-ン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-220810   出願人：東洋合成工業株式会社