特許
J-GLOBAL ID：200903038507291727

オゾン含有超純水供給装置

発明者：
森田 博志

森田 博志 について

, 
水庭 哲夫

水庭 哲夫 について

, 
井田 純一

井田 純一 について


出願人/特許権者：
栗田工業株式会社

栗田工業株式会社 について


代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-304617
公開番号（公開出願番号）：特開平11-138181
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月25日
要約：
【要約】【課題】供給配管系内における溶存オゾン濃度の低下を抑制し、供給系全体においてほぼ一定のオゾン濃度を保持することができ、長い配管を有する供給・循環系にも適用可能なオゾン含有超純水供給装置を提供する。【解決手段】(A)超純水供給主配管、(B)超純水供給主配管に接続したオゾン含有ガス供給装置、(C)主配管から分岐しユースポイントと連結する枝管、及び、(D)枝管に配置された気液分離装置を有することを特徴とするオゾン含有超純水供給装置。
請求項（抜粋）：
(A)超純水供給主配管、(B)超純水供給主配管に接続したオゾン含有ガス供給装置、(C)主配管から分岐しユースポイントと連結する枝管、及び、(D)枝管に配置された気液分離装置を有することを特徴とするオゾン含有超純水供給装置。
IPC (2件)：
C02F 1/78 ,  H01L 21/304 341
FI (2件)：
C02F 1/78 ,  H01L 21/304 341 Z
引用特許：
審査官引用 (12件)
  • 特開平2-144195
  • 特開平2-144195
  • オゾン水処理方法及び装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-189252   出願人：ペルメレック電極株式会社
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