基板搬送装置及び処理システム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-214595
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068525
出願日： 1994年08月04日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】小さな占有床スペース内で被処理基板を高速かつスムースに効率よく搬送すること。【構成】主ウエハ搬送機構24は、上端および下端で接続された相対向する一対の垂直壁部91,92からなる筒状支持体94の内側にウエハ搬送体96を上下方向(Z方向)に移動可能に取り付けている。筒状支持体94は、回転駆動モータ98の回転軸に接続されており、モータ98の回転駆動力によって回転軸を回転中心としてウエハ搬送体96と一体に回転するようになっている。ウエハ搬送体96は、搬送基台104上に、X方向(前後方向)に移動可能な複数本たとえば3本のピンセット106A,106B,106Cを備えている。各ピンセット106は、筒状支持体94の両垂直壁部91,92の間の側面開口部95を通り抜けできるようになっている。

請求項（抜粋）：

側面に開口部が形成され、中心部の垂直軸を回転中心軸として回転可能な筒状支持体と、前記筒状支持体を所望の角度に回転移動させるための第1の駆動手段と、前記筒状支持体の内側で垂直方向に移動可能に設けられ、前記側面開口部を通って水平方向に移動可能な被処理基板支持部を有する被処理基板搬送体と、前記被処理基板搬送体を所望の高さ位置に昇降移動させるための第2の駆動手段と、前記被処理基板支持部を前記側面開口部より内側の第1の位置と外側の第2の位置との間で前後移動させるための第3の駆動手段とを具備する基板搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , G03F 7/16 501 , G03F 7/30 502 , H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 C , G03F 7/16 501 , G03F 7/30 502 , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 562

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-178946
カバー付搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-360500 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立画像情報システム, 日立機電工業株式会社
特開平4-130617

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