厚膜セラミックス形成方法およびアクチュエータ製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠部正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-386882
公開番号（公開出願番号）：特開2003-181814
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2003年07月02日
要約：

【要約】【課題】厚さが薄く均一な平板状の厚膜セラミックスの形成方法、あらかじめ三次元加工を施した構造体上に、そのような厚膜セラミックスを形成した小型のアクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】セラミックス粉末と、適量のバインダ、界面活性剤と有機溶媒とを混合させ攪拌してスラリーを作製し、ドクターブレード装置により、グリーンシートに成形し焼成する。またあらかじめ三次元加工を施したシリコンなどからなる構造体上に前記グリーンシートを被着させ、焼成と同時に接合させ、アクチュエータを製作する。

請求項（抜粋）：

セラミックス粉末と3〜20wt%の高分子バインダと0.3〜5wt%の界面活性剤と有機溶媒とを混合、攪拌したスラリーを、ドクターブレード装置により厚さ10〜300μm のグリーンシートに成形し、焼成することを特徴とする厚膜セラミックス形成方法。

IPC (3件)：

B28B 1/30 101 , C04B 35/622 , C04B 35/632

FI (3件)：

B28B 1/30 101 , C04B 35/00 D , C04B 35/00 108

Fターム (15件)：

4G030AA16 , 4G030AA17 , 4G030AA40 , 4G030BA10 , 4G030CA08 , 4G030GA11 , 4G030GA14 , 4G030GA16 , 4G030GA17 , 4G030GA18 , 4G030GA20 , 4G030PA22 , 4G052DA05 , 4G052DB03 , 4G052DC06

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平1-097604
セラミックスラリー組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-317652 出願人：住友金属鉱山株式会社
特開昭49-039099

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