特許
J-GLOBAL ID:200903038622767050
樹脂封止工程用粘着テープ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
, 鈴木 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-342356
公開番号(公開出願番号):特開2004-179306
出願日: 2002年11月26日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】粘着テープを用いた樹脂封止工程での樹脂漏れを好適に防止して、半導体装置の性能に支障を与えない樹脂封止工程用粘着テープを提供することを目的としている。【解決手段】本発明に係る樹脂封止工程用粘着テープは、基材とその上に形成された粘着剤層とからなり、該粘着剤層の175°Cにおける弾性率が1.00×103〜8.00×104Paの範囲にあることを特徴としている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基材とその上に形成された粘着剤層とからなり、
該粘着剤層の175°Cにおける弾性率が1.00×103〜8.00×104Paの範囲にあることを特徴とする樹脂封止工程用粘着テープ。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L21/56 E
, H01L23/28 J
Fターム (7件):
4M109AA01
, 4M109BA01
, 4M109CA04
, 4M109DA04
, 5F061AA01
, 5F061BA01
, 5F061CA04
引用特許:
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