特許
J-GLOBAL ID：200903038691441159

洗浄用ローラおよび洗浄装置

発明者：
森田 朋岳

森田 朋岳 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-237795
公開番号（公開出願番号）：特開2009-066527
出願日： 2007年09月13日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：
【課題】異物の除去効率の低下を防止することができる洗浄用ローラおよびこの洗浄用ローラを備えた洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄用ローラ1は、円柱状のロール体11と、このロール体11の外周面に設けられた複数の突起部12とを有する。各突起部12は、平面楕円形状である。複数の突起部12は、前記楕円の長軸が、ロール体11の中央部を通り、円柱状のロール体11の中心軸Bと直交する軸線Aに対し一方向に傾斜するとともに、千鳥状に配置された第一の突起部群13と、軸線Aに対し、前記一方向とは異なる他の一方向に沿って前記楕円の長軸が傾斜するとともに、千鳥状に配置された第二の突起部群14とで構成されている。第一の突起部群13の傾斜方向と、および第二の突起部群14の傾斜方向とは、軸線Aを挟んで対称である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
円柱状のロール体と、 このロール体の外周面に設けられた複数の突起部とを有する洗浄用ローラであって、 前記突起部は、平面楕円形状であり、 複数の前記突起部は、 前記楕円の長軸が、前記ロール体の中央部を通り、前記円柱状のロール体の中心軸と直交する軸線に対し一方向に傾斜するとともに、千鳥状に配置された第一の突起部群と、 前記軸線に対し、前記一方向とは異なる他の一方向に沿って前記楕円の長軸が傾斜するとともに、千鳥状に配置された第二の突起部群とで構成され、 前記第一の突起部群の傾斜方向である前記一方向と、および前記第二の突起部群の傾斜方向である前記他の一方向とが、前記軸線を挟んで対称である洗浄用ローラ。
IPC (2件)：
B08B 1/04 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B08B1/04 ,  H01L21/304 644C ,  H01L21/304 644G
Fターム (22件)：
3B116AA03 ,  3B116AB33 ,  3B116BA02 ,  3B116BA14 ,  3B116BB24 ,  5F157AA17 ,  5F157AA70 ,  5F157AA73 ,  5F157AA96 ,  5F157AB02 ,  5F157AB12 ,  5F157AB33 ,  5F157AB89 ,  5F157AB98 ,  5F157AC01 ,  5F157BA03 ,  5F157BA14 ,  5F157BA31 ,  5F157BB24 ,  5F157CF62 ,  5F157DB02 ,  5F157DB18
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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