特許
J-GLOBAL ID：200903038714942240
屈曲振動圧電振動子及びその調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-305945
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132573
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【目的】屈曲振動圧電振動子を用いた角速度検出器において、より高精度で小型化した検出器の製造を目的とする。【構成】屈曲振動圧電振動子の厚み方向の両側に、マスク板を設けて貼り合わせ一体構造にし、該屈曲振動圧電振動子の圧電振動子のアーム部、中心部分に位置するマスク板に貫通穴を設け、このマスク板の貫通穴から質量変動法により、屈曲振動圧電振動子の部分質量を表裏、左右変化されることにより、元来持つ振動子自体の結晶構造上、エッチング加工などによる製造問題上で発生する不安定な振動姿態を修正することで、極小形状ながら安定した振動姿態で、確実な加速度の検出が得られた。
請求項（抜粋）：
Y軸方向を長手方向、Z軸方向に厚み寸法を持ち励振電極を備えた屈曲振動圧電振動子において、該屈曲振動圧電振動子の厚み方向(Z軸方向)の両側に該屈曲振動圧電振動子の支持部とマスク板とを間隔を設けて貼り付け一体にし、該マクス板の該屈曲振動圧電振動子各アーム部の位置する場所に貫通穴があることを特徴とする屈曲振動圧電振動子。
IPC (4件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H03H 3/02
, H03H 9/17
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H03H 3/02 B
, H03H 9/17 A
