特許
J-GLOBAL ID：200903038726307540
ウエハの故障サイン自動検出、分類方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119396
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093865
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】ウエハマップを手動で確認するときの人為的過失を回避するため、自動的にウエハの故障サインを検出、及び分類する手段を提供する。歩留り解析技術者がウエハの故障サインを分類する時間を節約する。【解決手段】故障サインデータベースの構築20と、自動比較装置による比較22とを備えることにより、検査結果をデータベース中の故障サインの型に基づいて自動的に分類する。さらに、製品の歩留りを向上するためのさらなる解析27のために、解析装置に対して検査結果を出力する。
請求項（抜粋）：
ウエハの故障サイン識別方法において、(1)故障サインデータベースを構築し、二つ以上の故障サインデータを記録する工程と、この工程において、各故障サインデータは、故障サイン、故障ダイ位置フィールド、故障モード及び位置依存性情報を有し、位置依存性情報は、故障サインの故障ダイの位置に対する関連性の有無を表示することと、(2)選択されたウエハを検査し、選択されたウエハにおける故障の位置、及び故障モードを含む検査結果を生成する工程と、このウエハはウエハ番号を有することと、(3)検査結果の故障モードと、各故障サインデータの故障モードとを自動比較手段により比較して、比較結果を生成する工程と、この比較結果は、ヒットとミスを有し、比較結果がヒットであるときは、さらにウエハ番号と故障サインを有することとからなる方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 A
, H01L 21/02 A
4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106CA70
, 4M106DA15
, 4M106DJ18
, 4M106DJ20
, 4M106DJ23
