特許
J-GLOBAL ID：200903038777338156
酸またはアルカリ原液の希釈方法および希釈装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-356147
公開番号（公開出願番号）：特開平10-180076
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 現像液などを純水で希釈調製する際に一層高い精度に且つ効率的に希釈調製することが出来る希釈方法および希釈装置を提供する。【解決手段】 本発明の希釈方法は、酸またはアルカリの原液を純水で希釈して所定濃度の混合液を調製する方法であって、原液と純水を混合して予め設定された目標濃度と異なる濃度の混合液を調製する初期調製工程、電位差滴定法によって混合液の濃度を測定する濃度測定工程、測定された濃度値と目標濃度値の差に基づいて原液または純水の不足量を演算してその85〜99%の原液または純水を混合液に供給する調製工程を含み、測定された濃度値が目標濃度の域値内の値となるまで濃度測定工程及び調製工程を繰り返し、混合液の濃度を段階的に目標濃度に接近させる。
請求項（抜粋）：
酸またはアルカリの原液を純水で希釈して所定濃度の混合液を調製する方法であって、A;所定量の原液と純水を混合し、予め設定された目標濃度と異なる濃度の混合液を調製する初期調製工程、B;電位差滴定法によって混合液の濃度を測定する濃度測定工程、C;工程(B)で測定された濃度値と目標濃度値の差に基づいて原液または純水の不足量を演算し、算出された不足量の85〜99%の原液または純水を混合液に供給する調製工程を含み、測定された濃度値が予め設定された目標濃度の域値内の値となるまで工程(B)及び工程(C)を繰り返すことを特徴とする酸またはアルカリ原液の希釈方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01F 15/04 A
, B01F 3/08 Z
