特許

J-GLOBAL ID：200903038800282260

プラズマ処理装置用窓部材

発明者： 鈴木 俊一 ,  市島 雅彦
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309748
公開番号（公開出願番号）：特開2003-115478
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】 プラズマや腐食性ガスへの耐食性に優れ、容易に、かつ低コストで得られるプラズマ処理装置用窓部材の提供。【解決手段】 少なくともハロゲン系ガスのプラズマに曝される面が、Mg,Ca,Sr,Baの群から選ばれた少なくとも1種の透光性を有するF化物、ZrF4系ガラスもしくはAlF3系ガラスで形成されていることを特徴とする成膜装置、エッチング装置あるいは表面改質装置などのプラズマ処理装置用窓部材である。

請求項（抜粋）：

少なくともハロゲン系ガスのプラズマに曝される面が、Mg,Ca,Sr,Baの群から選ばれた少なくとも1種の透光性を有するF化物、ZrF4系ガラス、もしくはAlF3系ガラスで形成されていることを特徴とするプラズマ処理装置用窓部材。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

C23C 16/44 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (11件)：

4K030AA02 ,  4K030FA01 ,  4K030KA37 ,  4K030KA46 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB32 ,  5F004DA01 ,  5F045BB08 ,  5F045EB03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ドライエッチング装置およびその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-118861   出願人：松下電器産業株式会社
• 半導体製造用耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-155798   出願人：京セラ株式会社
• 新しいAlF3 系フツ化物ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-217257   出願人：株式会社住田光学ガラス
• 耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201566   出願人：京セラ株式会社