照明装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362379
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174410
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】照射光量を一定レベルに保つことが可能な照明装置を提供すること。【解決手段】光源11より発せられた光を複数のファイバから成るバンドルファイバ15の端部に入射し、このバンドルファイバ15の他端より出射した光を対象に照射する照明装置において、バンドルファイバ15の一部を分岐させその分岐されたファイバから出射される光を受光する光量モニタ18を備え、この光量モニタ18を利用して対象への照射光量を調整するようにした照明装置。

請求項（抜粋）：

光源より発せられた光を複数のファイバから成るバンドルファイバの端部に入射し、該バンドルファイバの他端より出射した光を対象に照射する照明装置において、前記バンドルファイバの一部を分岐させその分岐されたファイバから出射される光を受光する光量モニタを備え、該光量モニタを利用して前記対象への照射光量を調整するようにしたことを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

G01N 21/84 , F21V 8/00 , G01N 21/01 , F21Y101:00

FI (4件)：

G01N 21/84 E , F21V 8/00 M , G01N 21/01 D , F21Y101:00

Fターム (10件)：

2G051BB17 , 2G051BC01 , 2G051CA20 , 2G051CB10 , 2G051CC17 , 2G059GG05 , 2G059JJ17 , 2G059JJ25 , 2G059KK01 , 2G059NN05

引用特許：

審査官引用 (4件)

光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-133399 出願人：株式会社モリテックス
特開平2-027227
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-130248 出願人：株式会社ニコン

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