特許

J-GLOBAL ID：200903038908868792

電子放出膜および方法

発明者： バーナード・コール ,  エリック・ピー・メニュー ,  アルバート・アレック・タリン
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-281404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112253
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 低い電界強度で一様な電子を放出しかつ比較的低い温度で製造できる電子放出膜を提供する。【解決手段】 電子放出膜200,730,830を形成する方法は、(i)陰極アーク被着装置100,600内でグラファイトソース120,620を気化してカーボンプラズマ170,670を生成し、(ii)グラファイトソース120,620とガラスまたはシリコン被着基板130,630,710,810の間に電位差を与えカーボンプラズマ170,670を被着基板130,630,710,810に向かって加速し(iii)陰極アーク被着装置100,600内にワーキングガスを提供し、かつ(iiii)カーボンプラズマ170,670を被着基板130,630,710,810上に被着する段階を含む。

請求項（抜粋）：

部分的にグラファイト化したナノ結晶カーボーンの膜(200)から本質的に構成されることを特徴とする電子放出材料。

IPC (2件)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02

FI (2件)：

H01J 1/30 A ,  H01J 9/02 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-249096   出願人：株式会社東芝
• カーボンナノチューブを表面に有する炭素質物及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-025037   出願人：工業技術院長
• フラーレン及びカーボンナノチューブの合成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-211662   出願人：日本電気株式会社
• カーボンナノチューブの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-311846   出願人：日本電気株式会社