特許
J-GLOBAL ID：200903039009447341

紫外線ガスレーザ用光学素子及び紫外線ガスレーザ装置

発明者：
永井 伸治

永井 伸治 について

, 
若林 理

若林 理 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について

, 
ウシオ電機株式会社

ウシオ電機株式会社 について


代理人 (7件)： 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-258085
公開番号（公開出願番号）：特開2006-073921
出願日： 2004年09月06日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】 紫外線ガスレーザ装置における光学素子による真性複屈折及び応力複屈折による偏光純度の悪化を防止すると共に、カット面を平滑にしてレーザ照射により割れや欠陥の発生を防止する。【解決手段】 2つの平面2、2’を備えて紫外線がその1つの平面2から入射し、他の平面2’から射出するフッ化カルシウム結晶からなるウィンドウ等の紫外線ガスレーザ用光学素子1において、少なくとも一方の平面2がフッ化カルシウム結晶の(110)結晶面に平行である紫外線ガスレーザ用光学素子。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
2つの平面を備えて紫外線がその1つの平面から入射し、他の平面から射出するフッ化カルシウム結晶からなる紫外線ガスレーザ用光学素子において、少なくとも一方の平面がフッ化カルシウム結晶の(110)結晶面に平行であることを特徴とする紫外線ガスレーザ用光学素子。
IPC (2件)：
H01S 3/034 ,  G02B 1/02
FI (2件)：
H01S3/03 G ,  G02B1/02
Fターム (3件)：
5F071AA06 ,  5F071FF07 ,  5F071JJ03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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