特許
J-GLOBAL ID：200903012899082579
紫外線レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-156439
公開番号（公開出願番号）：特開2003-347627
出願日： 2002年05月29日
公開日（公表日）： 2003年12月05日
要約：
【要約】【課題】 光学素子の複屈折を少なくして、レーザ光を安定に出射するレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザ光(21)の偏光を直線偏光とする光学素子を備えた紫外線レーザ装置において、レーザ光(21)が内部を通過する光学素子の少なくとも一つが、結晶又はガラスをアニーリングしてなり、レーザ光(21)が劈開面(35)に対して略垂直に内部を通過するように配置され、レーザ光(21)が入射及び出射する面の少なくとも1つに対して劈開面(35)が略平行になるように形成され、前記劈開面(35)が、結晶の<111>面であって、光学素子にかかる力に対して劈開面(35)が略垂直となるように配置されたことを特徴とする紫外線レーザ装置。
請求項（抜粋）：
レーザ共振器を構成し、レーザ光(21)が内部を通過する光学素子の少なくとも1つが、結晶をアニーリングしてなることを特徴とする、紫外線レーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/04 Z
, H01S 3/03 G
5F071AA04
, 5F071DD04
, 5F071DD06
, 5F071FF07
, 5F071FF09
, 5F072AA04
, 5F072AA06
, 5F072FF07
, 5F072FF08
, 5F072JJ03
, 5F072JJ13
, 5F072KK07
, 5F072KK08
, 5F072KK18
