特許
J-GLOBAL ID：200903039029268222

機能性薄膜の形成方法及び形成装置

発明者：
国枝 敏明

国枝 敏明 について

, 
神山 俊文

神山 俊文 について

, 
岡崎 禎之

岡崎 禎之 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188079
公開番号（公開出願番号）：特開平11-029854
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 機能性を有する薄膜を真空蒸着法により形成する場合、機能性材料を上方より加熱することにより、蒸発時に機能性材料自身の突沸やスプラッシュが発生しない機能性薄膜の形成方法を提供すること。【解決手段】 機能性材料7を収納容器8に収納し、上方より機能性材料7を上加熱ヒーター9で加熱することにより突沸やスプラッシュを抑える。その結果、スプラッシュやピンホールの無い均質な機能性薄膜が得られる。
請求項（抜粋）：
蒸発容器に機能性材料を収納し、真空中で加熱、蒸発させ基板に機能性薄膜を形成する方法であって、機能性材料を上方より加熱し、蒸発させて基板に機能性薄膜を形成する機能性薄膜の形成方法。
IPC (2件)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/28
FI (2件)：
C23C 14/24 B ,  C23C 14/28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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