特許
J-GLOBAL ID：200903039072975706
バンプボンダー及びバンプ形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323064
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163214
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの位置規制を簡単な構成で能率的に行うなど、ウエハに対してバンプを形成する際の問題を解消する。【解決手段】 ウエハを互いに適当間隔をあけて積層状態で収容したキャリアを設置するリフタを設け、キャリア内から取出手段にて順次取り出されたウエハを順次移載ステーションに位置決めし、移載ステーションからボンディングステージ上に移載したウエハに対してボンディングヘッドにてバンプを形成するようにしたバンプボンダーにおいて、リフタにキャリア内のウエハ位置を規制する位置決めバー50と可動のシャッタ51を設けるとともに、オリフラ1aの位置がずれたときのシャッタ51の位置ずれを検出するオリフラ位置検出手段を設け、取出手段にウエハ1の位置規制手段67、73を設けるなどの手段を講じた。
請求項（抜粋）：
ウエハを互いに適当間隔をあけて積層状態で収容したキャリアを設置するリフタを設けた搬入ステーションと、キャリア内から取出手段にて順次取り出されたウエハが順次位置決めされる移載ステーションと、移載ステーションから移載手段にてボンディングステージ上に移載されたウエハに対してボンディングヘッドにてバンプを形成するボンディングステーションとを有するバンプボンダーにおいて、リフタにキャリア内のウエハ位置を規制するとともにウエハのオリフラ位置を検出するオリフラ位置検出手段を設け、取出手段にウエハの位置規制手段を設けたことを特徴とするバンプボンダー。
FI (2件)：
H01L 21/92 604 J
, H01L 21/92 604 Z
