特許
J-GLOBAL ID：200903039118226339
プレーナ型電磁アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
笹島 富二雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-300766
公開番号（公開出願番号）：特開2004-136373
出願日： 2002年10月15日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：
【課題】外部の駆動回路に接続された電極端子を介して駆動コイルに駆動信号を入力して可動部を揺動するプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、半導体基板の外形寸法の小型化を図ると共に、接続導線の抵抗値を減少する。【解決手段】半導体基板10に、平板状の可動部13と、該可動部13を揺動可能に軸支するトーションバー15と、外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子18と、該電極端子18に接続され可動部13に駆動力を与える駆動コイル16とを形成し、上記可動部13の外方部位にトーションバー15の軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段11a,11bを備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、上記電極端子18と駆動コイル16の端部とを接続する接続導線17を、トーションバー15上に形成された駆動コイル16の導線の幅より広い幅に形成した。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基部材となる半導体基板に、平板状の可動部と、該可動部を揺動可能に軸支するトーションバーと、該トーションバーの軸線から離して配設され外部の駆動回路から駆動信号を入力する電極端子と、該電極端子に接続され上記可動部に駆動力を与える駆動コイルとを形成し、上記可動部の外方部位に上記トーションバーの軸線方向と直交する磁界成分を発生する磁界発生手段を備えたプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
上記電極端子と上記駆動コイルの端部とを接続する接続導線を、上記トーションバー上に形成された駆動コイルの導線の幅より広い幅に形成したことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
IPC (3件)：
B81B3/00
, G02B26/08
, G02B26/10
B81B3/00
, G02B26/08 E
, G02B26/10 104
2H041AA11
, 2H041AB14
, 2H041AC05
, 2H041AZ03
, 2H041AZ08
, 2H045AB02
, 2H045AB16
, 2H045AB73
