特許
J-GLOBAL ID：200903039232409001
インクジェット式記録ヘッド及び圧電体素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-272266
公開番号（公開出願番号）：特開2008-074107
出願日： 2007年10月19日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】優れた圧電特性を示す圧電体素子を結晶構造から明らかにする。【解決手段】この圧電体素子は、ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と当該圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備える。そして結晶が、圧電体層のペロブスカイト結晶構造は正方晶系であること、(001)面方位と(111)面方位とが混在していること、膜厚に対する(001)面方位の配向割合の比が膜厚に対する(111)面方位の配向割合の比より大きく設定されていること等の条件を満たしている。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
インクが充填される圧力室基板の圧力室に対応させて当該圧力室を加圧可能な位置に形成したインクジェット式記録ヘッドにおいて、
ペロブスカイト結晶構造を持つ強誘電体を備えた圧電体層と前記圧電体層を挟んで配置される上電極および下電極とを備えた圧電体素子は、前記圧電体層の前記ペロブスカイト結晶構造は正方晶系であって、(001)面方位と(111)面方位とが混在しており、全面方位に対する前記(111)面方位の割合が前記(001)面方位の割合より大きく設定されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (4件)：
B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H02N 2/00
B41J3/04 103H
, H01L41/08 U
, H01L41/08 J
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, H02N2/00 B
2C057AG44
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP57
出願人引用 (3件)
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特開平3-69512号公報
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強誘電体薄膜の結晶配向性制御方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-057242
出願人：三菱マテリアル株式会社
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米国特許出願第5265315号明細書
審査官引用 (5件)
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