特許
J-GLOBAL ID:200903039244997081
反射防止膜及びその製造方法、並びに反射防止膜作製用スタンパ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
伴 俊光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-392119
公開番号(公開出願番号):特開2005-156695
出願日: 2003年11月21日
公開日(公表日): 2005年06月16日
要約:
【課題】陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として、高分子フィルム面に所望の反射防止膜を形成可能な反射防止膜の製造方法およびその方法により形成された反射防止膜、並びに、その反射防止膜を効率的に形成可能なスタンパ及びその製造方法を提供する。【解決手段】高分子膜の表面に凹凸を形成し、屈折率を連続的に変化させることで反射を低減させる反射防止膜の製造方法であって、前記凹凸の形成に、表面に細孔を有し、該細孔に、陽極酸化と孔径拡大処理を組み合わせることで、連続的に細孔径が変化するテーパー形状を付与した陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として、あるいは該陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として作製したスタンパを鋳型として用いることを特徴とする反射防止膜の製造方法、その方法により形成された反射防止膜、反射防止膜形成のためのスタンパ及びその製造方法。【選択図】図2
請求項(抜粋):
高分子膜の表面に凹凸を形成し、屈折率を連続的に変化させることで反射を低減させる反射防止膜の製造方法であって、前記凹凸の形成に、表面に細孔を有し、該細孔に、陽極酸化と孔径拡大処理を組み合わせることで、連続的に細孔径が変化するテーパー形状を付与した陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として、あるいは該陽極酸化ポーラスアルミナを鋳型として作製したスタンパを鋳型として用いることを特徴とする、反射防止膜の製造方法。
IPC (5件):
G02B1/11
, B23H3/08
, C25D11/04
, C25D11/06
, C25D11/16
FI (5件):
G02B1/10 A
, B23H3/08
, C25D11/04 101H
, C25D11/06 C
, C25D11/16 301
Fターム (8件):
2K009AA12
, 2K009BB14
, 2K009DD15
, 3C059AA02
, 3C059AB01
, 3C059CG03
, 3C059EA01
, 3C059HA04
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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引用文献:
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