特許
J-GLOBAL ID：200903039274423985
露光用基板
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176967
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026662
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【目的】 チップデータ領域に寸法測定用マーク、或いは測定箇所を特定する位置特定用マークを形成し、これらのマークをレティクルの周辺領域に形成した位置検出用マークにより容易に特定し、オペレータにかかる負担や検査工程のための時間を低減し、製造コストを減少させる。【構成】 レティクル11のチップデータ領域12に、寸法測定用マーク21或いは測定箇所を特定する位置特定用マーク42を形成し、さらにチップデータ領域12の周辺部13に寸法測定用マーク21或いは位置特定用マーク42を容易に特定するための位置検出用マーク22を形成する。
請求項（抜粋）：
チップデータ領域に形成された第一マークと、前記第一マークに対応して前記チップデータ領域の周辺領域に形成された第二マークと有することを特徴とする露光用基板。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F 1/08 M
, H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 515 F
