特許
J-GLOBAL ID:200903039310804613
紫外線硬化型粘着テープの切断方法およびそれを用いて形成した物品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-185005
公開番号(公開出願番号):特開2005-014184
出願日: 2003年06月27日
公開日(公表日): 2005年01月20日
要約:
【課題】紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付けた紫外線硬化型の粘着-プを精度よく切断する。【解決手段】ウエハWの表面に貼り付けた粘着テープTのカッタ刃44によって切断される部位に、先行して紫外線照射ノズル50から紫外線が照射され、粘着材が硬化される。この粘着材が硬化した部位上をカッタ刃44が移動しながら、つまり、ウエハWの外形に沿って切断してゆく。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付けた後に、ワークの外周に沿って粘着テープを切断する紫外線硬化型粘着テープの切断方法において、
紫外線硬化型の前記粘着テープを切断する前に、粘着テープの切断部位に紫外線を予め照射してその部位の粘着剤を硬化させることを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの切断方法。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許: