液体の特性を測定するための弾性表面波装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷照一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258271
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109710
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】弾性表面波装置を用いて測定条件の差異による誤差を含まないでかつ簡単に液体の特性(粘性率、導電率、誘電率)を測定する。【構成】圧電基板30上に第1〜第3の弾性表面波伝搬路30a〜30cを形成する櫛歯状の入力電極31〜33及び出力電極34〜36をそれぞれ相対向させて3組設ける。第1及び第2の弾性表面波伝搬路30a,30bであって入力電極31,32及び出力電極34,35の各間にて圧電基板30上の各所定領域にそれらの全体を短絡する金薄膜37,38をそれぞれ設け、第3の弾性表面波伝搬路30cであって入力電極33及び出力電極36の間にて圧電基板30上の所定領域にその周囲のみを短絡する金薄膜39を設ける。圧電基板30上であって第1〜3の弾性表面波伝搬路30a〜30cの各間に溝41a,41bをそれぞれ設ける。金薄膜38,39上に枠体42でプールを設ける。

請求項（抜粋）：

圧電基板上に第1〜第3の弾性表面波伝搬路をそれぞれ形成する櫛歯状の入力電極及び出力電極をそれぞれ相対向させて少なくとも3組設け、前記第1及び第2の弾性表面波伝搬路であって入力電極及び出力電極の各間にて前記圧電基板上の各所定領域にそれらの全体を短絡する導電性薄膜をそれぞれ設け、前記第3の弾性表面波伝搬路であって入力電極及び出力電極の間にて前記圧電基板上の所定領域にその周囲のみを短絡する導電性薄膜を設け、かつ前記圧電基板上であって前記第1〜第3の弾性表面波伝搬路の各間に各弾性表面波伝搬路を仕切る溝をそれぞれ設けたことを特徴とする液体の特性を測定するための弾性表面波装置

IPC (3件)：

G01N 29/18 , G01N 29/02 , G01N 29/20

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平2-227661
特開昭62-190905
特開昭61-128138

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審査官引用 (1件)

特開平2-227661

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