特許

J-GLOBAL ID：200903039343274245

ダイシングソーのためのモニタリングシステム

発明者： ウェイシャウス, イラン ,  リクト, オデッド イェホシュア
出願人/特許権者： クーリック アンド ソファ インベストメンツ,インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-543289
公開番号（公開出願番号）：特表2003-516624
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2003年05月13日
要約：

【要約】プロセス解析用のダイシングデータを蓄積し、プロセス安定性および基板中の切削品質をモニタリングする方法および装置。上記装置は、ダイシングソーの刃の速度を判定するセンサを有する。モニタは、基板によって刃にかけられる負荷を判定する。モニタは、ダイシングソーからのフィードバック制御電流およびフィードバック制御出力電圧のうち少なくとも1つを測定する。コントローラがモニタに結合され、これにより、基板によって刃上に誘発される負荷に応答して、スピンドルドライバを制御する。

請求項（抜粋）：

プロセス安定性および基板中の切削品質をモニタリングする、ダイシングソーと共に用いられるデバイスであって、 該ダイシングソーの刃速度を判定するセンサと、 該基板によって該刃上にかけられる負荷を判定するモニタであって、該モニタは、該ダイシングソーからのフィードバック制御電流およびフィードバック制御出力電圧のうち少なくとも1つを測定する、モニタと、 該モニタに結合されたコントローラであって、該負荷に応答して該刃を制御する、コントローラと、を備える、デバイス。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-024018
  
• 特開平1-204706
  
• ダイシング装置及びダイシング装置における切削制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-320368   出願人：株式会社東京精密
• ダイシング装置及びダイシング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-328255   出願人：セイコー精機株式会社