特許

J-GLOBAL ID：200903039385211790

ダイヤモンド薄膜のコーティング法及びダイヤモンド被覆超硬合金部材

発明者： 一色 秀夫
出願人/特許権者： 国立大学法人 電気通信大学 ,  日特エンジニアリング株式会社 ,  株式会社キャンパスクリエイト
代理人 (1件)： 三好 秀和
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005010675
公開番号（公開出願番号）：WO2005-121398
出願日： 2005年06月10日
公開日（公表日）： 2005年12月22日
要約：

超硬合金の結合相に含まれるコバルトがグラファイト形成の触媒作用をすることにより従来困難とされてきたダイヤモンド薄膜の形成を、中間層を必要とすることなく可能にするダイヤモンド薄膜のコーティング法を提供する。 炭化物2の硬質相とコバルトを含む結合相1とからなる超硬合金基材の表面に存在する結合相11のコバルトを珪化して珪化物3とし、しかる後に前記ダイヤモンド薄膜を形成する。

請求項（抜粋）：

炭化物の硬質相とコバルトを含む結合相とからなる超硬合金を基材とし、この基材上にダイヤモンド薄膜を形成するダイヤモンド薄膜のコーティング法において、 前記基材の表面に存在する前記結合相のコバルトを珪化して珪化物とし、しかる後に前記ダイヤモンド薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド薄膜のコーティング法。

IPC (2件)：

C23C 16/27 ,  C30B 29/04

FI (2件)：

C23C16/27 ,  C30B29/04 Q

Fターム (15件)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB01 ,  4G077ED06 ,  4G077EE01 ,  4G077HA13 ,  4G077TA04 ,  4G077TA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030CA03 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030LA22

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 硬質膜被覆超硬合金部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-157837   出願人：日立ツール株式会社
• ダイヤモンド状炭素膜を被覆した部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-375444   出願人：ティーディーケイ株式会社