高清浄空気の循環装置及び循環方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321087
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141272
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】使用設備から排出される高清浄乾燥空気の汚染を防止し、かつ、循環に必要な動力を省いて、効率よく高清浄空気を循環し、また、構造が単純でメンテナンスフリーな高清浄空気の循環供給装置及び方法提供する。【解決手段】高清浄空気の使用設備13から排出された使用済み高清浄空気を使用設備13に循環供給するに際し、使用設備13に供給する補給用高清浄乾燥空気の経路11に、該補給用高清浄乾燥空気を駆動流体とするエジェクター12を設け、該エジェクター12の吸入口21に、使用設備13から使用済み高清浄空気を排出する経路14を接続するとともに、吐出口22に、エジェクター12のノズル29から噴射した補給用高清浄乾燥空気にて使用済み高清浄空気を駆動して使用設備13に供給する経路15を接続する。

請求項（抜粋）：

高清浄空気の使用設備から排出された使用済み高清浄空気を前記使用設備に循環供給する循環装置であって、前記使用設備に供給する補給用高清浄乾燥空気の経路に、該補給用高清浄乾燥空気を駆動流体とするエジェクターを設け、該エジェクターの吸入口に、前記使用設備から使用済み高清浄空気を排出する経路を接続するとともに、前記エジェクターの吐出口に、エジェクターのノズルから噴射した前記補給用高清浄乾燥空気にて使用済み高清浄空気を駆動して前記使用設備に供給する経路を接続したことを特徴とする高清浄空気の循環供給装置。

Fターム (4件)：

3L058BD04 , 3L058BE02 , 3L058BF09 , 3L058BG01

引用特許：

審査官引用 (9件)

クリーンルーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-249529 出願人：三菱電機株式会社
特開平4-151322
換気装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-084565 出願人：松下精工株式会社

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