特許
J-GLOBAL ID：200903039421532396
振動トランスデューサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 大
, 岩上 渉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-256905
公開番号（公開出願番号）：特開2009-089097
出願日： 2007年09月28日
公開日（公表日）： 2009年04月23日
要約：
【課題】ダイヤフラムが柱形の構造物で支えられる振動トランスデューサの感度と耐久性とを、大型化せずに高める。【解決手段】基板100と、中央部と前記中央部から外側に放射状に延びる複数の腕部とを備えるダイヤフラム123と、前記中央部に対向している対向部と前記対向部から外側に放射状に延びる複数の接合部とを備えるプレート162と、前記プレートを支持するプレート支持部と、前記プレートとの間に空隙を挟んで前記ダイヤフラムを支持する複数の柱形のダイヤフラム支持部102と、を備え、前記ダイヤフラムの周方向における前記腕部123cの長さは、前記ダイヤフラム支持部と前記中央部との間における最短長よりも前記ダイヤフラム支持部に接合される領域における長さが長く、前記ダイヤフラム123が前記プレート162に対して振動することにより前記ダイヤフラムと前記プレートとで形成される静電容量が変化する、振動トランスデューサ。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
堆積膜からなり、導電性を有し、中央部と前記中央部から外側に放射状に延びる複数の腕部とを備えるダイヤフラムと、
堆積膜からなり、導電性を有し、前記中央部に対向している対向部と前記対向部から外側に放射状に延びる複数の接合部とを備えるプレートと、
堆積膜からなり、複数の前記接合部のそれぞれと前記基板とに接合され、前記プレートを支持するプレート支持部と、
堆積膜からなり、前記プレートの周方向において複数の前記接合部の間に位置し、前記プレートの径方向において前記プレート支持部より外側に位置し、複数の前記腕部のそれぞれと前記基板とに接合され、前記プレートとの間に空隙を挟んで前記ダイヤフラムを支持する複数の柱形のダイヤフラム支持部と、
を備え、
前記ダイヤフラムの周方向における前記腕部の長さは、前記ダイヤフラム支持部と前記中央部との間における最短長よりも前記ダイヤフラム支持部に接合される領域における長さが長く、
前記ダイヤフラムが前記プレートに対して振動することにより前記ダイヤフラムと前記プレートとで形成される静電容量が変化する、
振動トランスデューサ。
IPC (4件)：
H04R 19/04
, H04R 31/00
, H01L 29/84
, B81B 3/00
H04R19/04
, H04R31/00 C
, H01L29/84 Z
, B81B3/00
3C081AA07
, 3C081BA44
, 3C081BA45
, 3C081BA46
, 3C081BA48
, 3C081EA21
, 4M112AA06
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA04
, 4M112CA13
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112EA06
, 4M112EA07
, 4M112EA11
, 4M112EA18
, 4M112FA07
, 5D021CC19
, 5D021CC20
