特許
J-GLOBAL ID:200903028917634995
小型ブロードバンド変換器
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-519372
公開番号(公開出願番号):特表2004-506394
出願日: 2001年08月10日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
コンデンサマイクロフォンのような固体状態の微小構造の複数の実施形態が開示される。1実施形態に従って、変換器は、固定の穿孔部材、穿孔部材から間隔を空けて配置された自由に移動可能な振動板、振動板と周囲近辺の穿孔部材との間の適切な間隔を維持する穿孔部材にある支持リング、および、振動板が支持リングの上に自由に留まるが、振動板を穿孔部材から機械的に分離するコンプライアントな懸架バネを含む。別の実施形態に従って、シリコンベースデバイスに使用される隆起型微小構造が開示される。隆起型微小構造は、膜を支持するリブ構造の側壁を有する略平坦な膜を含む。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の穿孔がある平坦な表面を有するカバー部材と、
該穿孔部材に操作可能に取り付けられた基板と、
該カバー部材と該基板との間に置かれた振動板であって、該振動板は、該カバー部材の該平坦な表面に対して平行な平面内で横方向に移動可能である、振動板と、
該振動板に操作可能に結合されて、該穿孔部材と該振動板との間の間隔に電界を印加する回路と、
該振動板に操作可能に結合されて、該カバー部材と該振動板との間の電気容量の変化に応答する回路と
を含む音響変換器であって、
該カバー部材は、該カバー部材と、固有の内部曲げモーメントに対する該カバー部材の感度を減少させるようにパターン化された該基板との間に取り付け用の周囲を含む、音響変換器。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
5D021CC19
, 5D107AA01
, 5D107CC09
, 5D107CC10
, 5D107CC11
, 5D107CD03
, 5D107DD11
, 5D107DE01
, 5D107DE02
引用特許:
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