特許
J-GLOBAL ID:200903039423485476
電子放出素子、電子源および画像形成装置、並びに電子放出素子の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
世良 和信 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-254637
公開番号(公開出願番号):特開2002-150923
出願日: 2001年08月24日
公開日(公表日): 2002年05月24日
要約:
【要約】【課題】 素子容量および駆動電圧の低減と電子放出効率の向上を図るとともに、高精細なビームを得ることができる電子放出素子および電子源および画像形成装置および電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】 絶縁性の基板1上に引き出し電極2と陰極電極3を設け、陰極電極3上に繊維状カーボンの成長選択性を有する層5を形成し、層5上に形成した触媒粒子を介して繊維状カーボンを成長させる。
請求項(抜粋):
炭素を主成分とするファイバーと、Ti,Zr,NbもしくはAlの中から選択された材料の酸化物からなる層、またはTi,ZrもしくはNbの中から選択された材料の酸化物半導体からなる層と、を備え、前記炭素を主成分とするファイバーは、前記層上に配置されており、且つ、その一部にPdを有することを特徴とする電子放出素子。
IPC (4件):
H01J 1/304
, H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
FI (4件):
H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
, H01J 1/30 A
Fターム (10件):
5C035AA20
, 5C035BB01
, 5C036EE01
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH04
, 5C036EH11
引用特許:
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