特許
J-GLOBAL ID：200903039476415658
遊星歯車式研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078217
公開番号（公開出願番号）：特開平8-243889
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：
【要約】【目的】 ワークを安定的且つ確実に自転及び公転させることができる遊星歯車式研磨装置を得る。【構成】 第1シャフト10aの下端に取り付けたヘッド支持部材11に、ワーク4を保持する複数のワークヘッド6を円周状の配列で回転自在に支持させ、各ワークヘッド6のヘッド軸6aに取り付けたヘッドギア12を、上記第1シャフト10aに固定のセンターギア13に噛合させる。また、第1シャフト10aに外嵌する第2シャフト10bの下端に公転用ギア17を回転自在に取り付け、該公転用ギア17を駆動用のドライブギア18に噛合させると共に、連結棒27で上記ヘッド支持部材11に連結し、公転用ギア17の回転によりヘッド支持部材11が回転すると、各ワークヘッド6が、第1シャフト10aの回りを公転すると同時に、ヘッド軸6aを中心にして自転するように構成する。
請求項（抜粋）：
モータにより駆動回転自在の定盤と、該定盤にワークを所要の力で押し付ける加圧ユニットとを備え、上記加圧ユニットが、ワークを保持するための円周状に配設された複数のワークヘッドと、これらのワークヘッドの昇降と各ワークヘッドに対する加工圧の付与とを司る昇降手段と、上記各ワークヘッドを配列中心の回りに強制的に公転させる公転手段と、各ワークヘッドを強制的に自転させる自転手段と、を有することを特徴とする遊星歯車式研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 7/04 A
, B24B 37/04 B
