硬化ナノインプリントスタンプ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：古谷聡 , 溝部孝彦 , 西山清春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-364008
公開番号（公開出願番号）：特開2004-148494
出願日： 2003年10月24日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】磨耗や破損に強いナノインプリントスタンプを提供すること。【解決手段】硬化ナノインプリントスタンプ10及び該硬化ナノインプリントスタンプ10の形成方法を開示する。硬化ナノインプリントスタンプ10は複数のシリコン製の極小形状部12を有し、この極小形状部12が炭化ケイ素、窒化ケイ素または炭化窒化ケイ素からなる硬化外殻20を有する。硬化外殻20は、プラズマ浸炭処理および/またはプラズマ窒化処理によって、基礎部分のシリコンよりも硬化される。プラズマ処理中は炭素原子C及び/又は窒素原子Nが極小形状部12の複数の露出面に衝突してそれらが露出面から浸透し、シリコン(Si)と反応して炭化ケイ素、窒化ケイ素または炭化窒化ケイ素からなる硬化外殻20が形成される。その結果、硬化ナノインプリントスタンプ10の寿命、耐久性、及び経済性が向上する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

基準面(13)を有する基板(11)と、前記基板(11)に接続され、前記基準面(13)から外側へ延びる複数の極小形状部(12)であって、該極小形状部(12)が転写形状を画定する外面を有し、該極小形状部(12)がシリコンおよびポリシリコンからなるグループの中から選択された材料から形成される、複数の極小形状部(12)と、前記外面の内側へ所定の深さdだけ延び、炭化ケイ素、窒化ケイ素および炭化窒化ケイ素からなるグループの中から選択された材料から形成された、外殻(20)と、からなる硬化ナノインプリントスタンプ(10)であって、前記硬化外殻(20)は、前記ナノインプリントスタンプ(10)を転写先の媒体(53)と繰り返し係合させる間、前記極小形状部(12)の転写形状を維持する働きをもつ、硬化ナノインプリントスタンプ(10)。

IPC (2件)：

B82B3/00 , H01L21/027

FI (2件)：

B82B3/00 , H01L21/30 502D

Fターム (1件)：

5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭63-255849
特開昭62-213252
回転体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-393433 出願人：ティーディーケイ株式会社

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